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基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备

利用低能离子轰击在光刻胶表面诱导产生自组织纳米波纹结构,将其作为掩模,与反应离子束刻蚀技术相结合,在熔石英表面制备了亚波长......

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激光加工低能离子轰击光刻胶自组织纳米结构熔石英亚波长结构 laser processing low-energy ion bombardment ph

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